レジスト対訳シリーズを進めています。
関連の資料を読んだり、Ｔｒａｄｏｓの操作に慣れつつで時間がかかっていますが、９／２までの完了を目標に集中して取り組みます。
昨日は架橋ポリマーの膨潤によって起こるレジストのブリッジ欠陥に関する部分でした。短い一文なんですが、なんというか、これがサラッと訳せるのがプロなのか、と思ったので少しメモしておきたいと思います。
こちらの一文。
For example, two adjacent lines of resist may swell enough that they touch. （US5385804 より）
背景知識がなくても、レジストラインが何を意味しているかがわかれば、文章を訳すこと自体は問題ないと思います。
ただ問題なのは、なぜこの現象が起きるのか、わかって翻訳できたかどうか、です。
前に表面張力の学習をしていた時に表面張力でパターン倒れが起きると少し頭に残っていたので、それと関係していると思って少し調べたのですが、なぜ膨潤が起こるのかはわかりませんでした。
ビデオを進めて、なるほどー、と思いました。
膨潤が起こる原理をあまりにざっくりですが、まとめます。
・光には回り込むという性質（回折）があるため、未露光部にも少し光が入り込む
・未露光部の光が入り込んだレジストの中で、中途半端に架橋が進む。（ネガ型レジストの場合）
・中途半端に架橋が進んだ部分が現像液を取り込んでしまうため、膨潤する。
物理の知識と化学の知識を前提として、それを組み合わせて先読みすることで、正確に瞬時に訳出できる。これは訓練で身に着けられる、と管理人さんはビデオの中でおっしゃってました。
逆に言えば、これが明細書のストーリが追えるプロのレベルであって、ここまで自分のレベルを上げてかなきゃいけないということですね。
遠いなーとは思いますけど、そうか、やるしかないなとにかく、と最近は割と前向きです。
膨潤が起こる仕組みについてのまとめノートの一部です。
さて、やたら朝から蒸し暑いですけど、今日も頑張ります。
８／２１（火）の学習記録
項目： ＩＢＭ社レジスト特許を読む（３２）～ （３３）
目標： ７ｈ１０ｍ 実績： ７ｈ１５ｍ
８／２２（水）の学習計画
項目： ＩＢＭ社レジスト特許を読む（３３）～
目標： ７ｈ１５ｍ
