横の机に明細書が４ｃｍくらい、積みあがってます。
J-PlatPatが止まってしまうので、やっぱり一応先に読みたいものは印刷しておこうと思い、昨晩印刷しました。
印刷したのは、最近取り組んでいる半導体の洗浄プロセスに関する明細書です。
洗浄プロセスと言ってもあまりに幅が広く、装置、工程、技術、薬液など、切り口もいろいろあります。
今回、まず薬液（洗浄液）に注目し、その関連の特許を読み込んでいくことから始めようと思っています。
なぜ洗浄液に注目したかですが、まず洗浄のメカニズムの大半が様々な化学反応を利用したものです。
なので、これがわかっていないと、例えばある洗浄装置がなぜそういう構造を取っているのか、なぜその順番で洗浄工程が組まれているのかが見えてこないのではないかと思ったからです。
ざっと何件か読んでいましたが、ｐＨ、酸化還元、錯体・・・岡野の化学でやった内容がこれでもか、というほど出てきます。
洗浄液といってもまだまだ広く、除去の対象物によってももちろん異なる洗浄液が使われます。どんな特許が多いのかを知るためにマインドマップでマッピングしながら、読む明細書をピックアップしました。
もうマインドマップはいいから、さっさと大量に明細書を読め！という声がどこからか聞こえました。
そうですよね。ただ、膨大な洗浄プロセスワールドの中で自分がどこにいるのか、ざっくりとした地図を持っておいた方が進めやすいと思ったのです。
今思えば、やはり本（はじめての半導体プロセス (現場の即戦力)
うーん、また効率のいい方法とか勉強方法を考えている自分に気付きました。
とにかく、読む。この週末は内容を理解しながら、大量に読みます。
マインドマップは、これからもアップします。
「今のレベル」のアウトプットです。
９／７（金）の学習記録
項目： 洗浄技術の学習＋関連する明細書を読む
目標： ６ｈ 実績：６ｈ２０ｍ
９／８（土）の学習計画
項目： 洗浄液についての明細書を読む
目標： １５ｈ
項目： ツール関係の学習
目標： １ｈ
