そっか、同じ現象を見ながら注目しているポイントが違うのか。
ビデオセミナー２７５０号：バジェットをどう訳すかを視聴して、昨日の記事を書いていた時に抱いていたいろんな「もやもや」が解消しました。
「もやもや」は何かというと、大きく分けて２つあります。
まず、thermal budgetに対応する日本語の意味の捉え方についてです。
日本語の特許明細書からサーマルバジェット・熱履歴・熱予算の表現を引っ張って眺めていた時、熱の総量のことを言っているものもあれば、特定のプロセスのことを言っているものもあり、何か幅があるなあとは感じました。
経過時間と温度の関係のグラフも見ていました。
ただ、そこからあるポイントや上がり方で見れば意味としては「熱履歴」で、必要な熱エネルギーの総和という観点で見れば、それは「熱予算」と言えるのでは、というところまでは考えつきませんでした。
再度切り貼りした明細書や英語での使われ方を確認すると、次のことがわかりました。
・「熱履歴」はやはり特定のプロセスで受ける熱のことを指しているものが多い。「～に熱履歴を与える」「～を形成するときの熱履歴」など
・「サーマルバジェット」はプロセス全体の熱処理で必要なエネルギーのことを指しているものが多い。「必要な熱処理を達成するための全サーマルバジェットを低減させることが望ましい」など。
・英語での「thermal budget」は、やはりトータルで必要な熱エネルギーを指している。within a thermal budget、thermal budget minimization など。
意味を理解していれば、どの言葉を使うのが最適かは答えが出てくるのだな、と感じました。
２つ目の「もやもや」は課題へのアプローチの仕方です。
昨日の記事は、これで終わらせたら突っ込まれるだろうなーと思いつつ書きました。
何か足りていない、腑に落ちない、けど延々と調べても仕方ないし、どうしたものかと思っていました。
今回のビデオで、どこがどう足りていなかったのか。どういうアプローチをとっていけば良いのかの差が明確になりました。
その差が何か、時間の関係もありここで全ては書きませんが（ノートにはまとめました）、
何よりも「協会のサイトでthermal budget = 熱履歴になっているから熱予算はおかしい」というバイアスのかかった考えで調査を進めてしまったことがまずかったと思っています。
今回のビデオセミナーでは、いつもそうですが多くの気づきがありました。アドバイスに沿ったアプローチを繰り返すことで、自分のものにしていきます。
ビデオセミナーで取り上げていただき、ありがとうございました。
９／１３（木）の学習記録
学習時間：６ｈ５５ｍ
項目： 半導体プロセス（不純物導入技術）の学習
目標： ６ｈ３０ｍ 実績：５ｈ１０ｍ
項目： ビデオセミナー２７５０号：バジェットをどう訳すか
視聴まとめ＋thermal budgetについて再度調査
目標： ― 実績：１ｈ４５ｍ
９／１４（金）の学習計画
項目： 半導体プロセス（不純物導入技術）の学習
目標： ６ｈ
