はじめての半導体プロセス (現場の即戦力)のリソグラフィ技術を学習しています。 ここは、「ＩＢＭ社レジスト特許を読む」対訳シリーズでかなり学習を進めた内容なので、サクサク進ん・・・ではいたのですが、途中つかまりました。 …

半導体の製造プロセスに欠かせない装置の一つに、ＣＶＤ装置があります。 昨日はこの装置についての特許明細書をいくつか読みました。   そもそも、ＣＶＤって何でしょうか。 ＣＶＤとは化学気相成長（chemical …

土曜日は「勉強以外何もしない日」にしています。 なので１週間で一番勉強する日になるんですけれど、 大体全投入しすぎて夜ふらふらになって、復習もそこそこに倒れこむように寝てしまうことが多いです。   何が言いたい…

３連休の初日です。うれしくて朝からテンション高いです。 しかも来週も３連休なんですよね。 学習の進捗が自分の計画から若干ビハインドしているので、この連休で取り戻したいところです。   今は半導体プロセスの不純物…

そっか、同じ現象を見ながら注目しているポイントが違うのか。 ビデオセミナー２７５０号：バジェットをどう訳すかを視聴して、昨日の記事を書いていた時に抱いていたいろんな「もやもや」が解消しました。   「もやもや」…

半導体の熱処理プロセスに、「サーマルバジェット」という概念が出てきます。 サーマルバジェット（thermal budget ：熱履歴）とは、熱処理工程の総和という概念の事で、デバイスの信頼性確保のために可能な限り少ない方…

今日は１日、出張です。 事務仕事なので、１年に１回くらいですかね、新幹線に乗って出張というのは。とっても珍しいです。 新幹線の中で一番読みたい本は今勉強しているはじめての半導体プロセス (現場の即戦力)なんですが、同行者…